设备优势

• 功能性能优势

  当前业内最高性能，
  每小时出片量（WPH）超过16000，远高于行业10000～12000的平均水平
  检测量测精度达到0.8um
  碎片率稳定低于0.05%
  漏检率<0.1%，过杀率< 0.05%

• 机电优势

  上料：两套缓存机构无缝衔接上料；兼容多尺寸花篮 下料：采用伯努利悬浮式下料装置，保障极低的碎片率；并行多组独立下料装置；下料盒无缝切换
  电气优势：实时监控物料，提示报警信息，定位问题工位；各工位独立控制，精准调控

  
• 检测优势

  多工位检测硅片四周崩边及表面缺陷，采用识别硅材质的深度学习模型，高精度完成检测

  
• 量测优势

  上下双线扫相机精准识别厚度、平面度和线痕
  在检测阶段提前剔除隐裂和碎片，减少后续下料分拣负担